한국공학대, 단결정 다이아몬드 웨이퍼 첫 개발

한국공학대학교는 반도체공학부 남옥현 교수 연구팀이 차세대 반도체 소재로 주목받는 다이아몬드 웨이퍼 분야에서 세계적인 성과를 거뒀다고 8일 밝혔다. 이번 연구는 세계 최초로 ‘쌍정 결함이 없는(twin-free) (111)면 단결정 다이아몬드’를 r-면 사파이어 기판 위에 성장시키는 데 성공한 것이다. 다이아몬드는 실리콘(Si), 실리콘카바이드(SiC), 갈륨나이트라이드(GaN)보다 월등히 넓은 밴드갭, 높은 열전도율, 뛰어난 전계 파더 보기